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独一无二的MEMS陀螺仪,工作原理是怎么样的? 发布时间:2019-12-20   浏览量:2519次

MEMS陀螺仪并不是最早应用在消费电子上的运动传感器,加速度传感器、电子罗盘早先一步进入了消费电子市场。虽然以重力为参照的加速度传感器和以地磁为参照的电子罗盘可以在地球表面形成垂直和水平面的三维空间覆盖,但因为二者均以地球而并非物体本身为参照物,因此不能很好地模拟物体的整个运动过程。


此外,由于加速度传感器容易受到线性运动时产生的力的干扰、电子罗盘容易受到诸如金属及手机等其他磁场的干扰,其应用受到了很大的局限。陀螺仪这个测量角速度的传感器不仅以物体本身作为参照物,而且具有很高的精度,因此可以对其他运动传感器做有益的补充,从而使得运动检测更加完备。


陀螺仪可以对加速度传感器和电子罗盘进行有益的补充。当三轴陀螺仪加上三轴加速度传感器形成六轴的运动传感器之后,基本上可以检测到所有形式的运动,包括速度、方向、位移等参数。


如果在六轴运动传感器上加上电子罗盘,则在检测运动轨迹的同时还可以修正绝对位置,实现完美的物体运动轨迹跟踪。因此,未来陀螺仪的进一步发展应用,是和加速度传感器及电子罗盘紧密联系的。


加速度传感器相当于一个重锤在中间的弹簧系统,四面八方有弹簧撑着它。平放在桌面时,有的弹簧被拉长,有的被压扁。变化时,不同的弹簧受到不同的压缩,从而侦测出不同方向的力。它的典型应用包括手机/相机画面水平和垂直的切换。


电子罗盘主要侦测地磁。常见的电子罗盘主要基于霍尔效应。但是地磁环境不完美,比如地磁的南极在地球不同的表面不一定指的同一个北方;而在地球不同纬度,地磁的方向和水平方向的夹角也不同。因此电子罗盘只能指一个大致的方向,然后进行修正。此外,电子罗盘还容易受到如金属、扬声器、天线等磁场的干扰。尤其是应用在手机上时,需要特别小心地在PCB上选一个合适的位置。


陀螺仪侦测的是角速度。基于科里奥利力的原理:当一个物体在坐标系中直线移动时,假设坐标系做一个旋转,那么在旋转的过程中,物体会感受到一个垂直的力和垂直方向的加速度。


而要在MEMS器件中实现该原理做成陀螺仪,则复杂许多。先用MEMS做一个震动系统,通过快速稳定的震动产生一个线性的运动V,当V的平面有一个旋转的拓扑出来的时候,就可以检测出科里奥利力的方向,根据公式可以算出角速度。用不同方向的震动来侦测出X、Y、Z轴的角速度,并可通过稳定的震荡去掉重力的干扰。


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